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靜電放電的危害
作者:3ctest  日期:2010-11-27  瀏覽次數(shù):1234次  來源:
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靜電作為一種普遍物理現(xiàn)象,近十多年來伴隨著集成電路的飛速發(fā)展和高分子材料的廣泛應用,靜電的作用力、放電和感應現(xiàn)象引起的危害十分嚴重,美國統(tǒng)計,美國電子行業(yè)部門每年因靜電危害造成損失高達100億美元,英國電子產(chǎn)品每年因靜電造成的損失為20億英鎊,日本電子元器件的不合格品中不少于45%的危害是因為靜電放電(ESD)造成的。

問題嚴重性還在于很多人對靜電危害的認識不足和防靜電知識的無知,常把一些因ESD造成的設(shè)備性能下降或故障,誤認為是元器件早期老化失效。所造成的誤區(qū)有以下幾點。

(1)首先由于許多人對靜電的產(chǎn)生不太了解,因為l~2kV以下的靜電放電感覺不到的,但卻能使器件因電擊而受到損傷。(須知一般MOS電路和場效應管擊穿電壓約為300V)所以說靜電的損傷是在人們不知不覺的過程中發(fā)生的。

(2)器件的失效分析比較困難,因為靜電的損傷與其他瞬變過程的過電壓造成的器件損傷有時是很難區(qū)分開來。

(3)有的器件在受靜電損傷以后,并不是不能用,而是特性有所下降,人們并不是當時就能發(fā)現(xiàn),但已經(jīng)造成了潛在的失效隱患,在將來某種特定的條件下,最終會導致器件失效,如器件氧化層出現(xiàn)一個孔,設(shè)備長時間工作后,金屬化電遷移引起短路燒毀,從而導致設(shè)備故障。這種類型的靜電損傷,將會大大的縮短元器件的使用壽命。

(4)有人錯誤地認為現(xiàn)在的集成電路,如MOS電路,不少的生產(chǎn)廠家在設(shè)計上已采用了抗靜電的保護電路,認為防靜電并不一定需要。但是,人們在生產(chǎn)活動中,工作人員穿的化纖衣服,各種塑料制品包裝,上述材料的滑動、摩擦、或分離,特別是在空氣干燥的季節(jié)里,將會產(chǎn)生600~15000V的靜電電壓,如果濕度為20%以下時,靜電電壓可高達30kV。即使有保護對于靜電放電的敏感器件也是非常危險的。

有人認為靜電僅對MOS類電路損傷,但不盡然,當靜電電壓高到某一限度時,對有些半導體器件也產(chǎn)生損傷。

某廠在使用高頻三級管3DGI42時發(fā)現(xiàn)了一個獨特的現(xiàn)象,當工作人員在上班開始工作,拿第一支管子測試時,常常發(fā)現(xiàn)是壞的,失效模式為發(fā)射結(jié)擊穿,以后就全是好的,這種現(xiàn)象每天重復出現(xiàn)。經(jīng)研究認為,這種失效是由靜電引起的。當工作人員進入車間或?qū)嶒炇視r,因在地板上走動時產(chǎn)生靜電,加上自身衣服之間摩擦也會產(chǎn)生靜電,所以當?shù)谝淮文霉茏訒r,在接觸管子的瞬間靜電釋放,因而使管子損壞。于是,規(guī)定凡是第一次測試時,要先摸一摸地線,釋放靜電之后,再去拿管子,這個問題因此而得以解決。這個例子也說明,籠統(tǒng)地認為雙極晶體管不是靜電第三器件是錯誤的,特別是對于具有潛結(jié)構(gòu)的高頻或超高頻晶體管,必須考慮防靜電問題。

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